[发明专利]一种刷片式晶圆清洗机摆臂机构有效
| 申请号： | 202211044536.4 | 申请日： | 2022-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN115121515B | 公开（公告）日： | 2022-12-16 |
| 发明（设计）人： | 刘国强;蔡超;赵天翔 | 申请（专利权）人： | 智程半导体设备科技（昆山）有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/00 | 分类号： | B08B1/00;B08B1/04;H01L21/67 |
| 代理公司： | 苏州友佳知识产权代理事务所(普通合伙) 32351 | 代理人： | 储振 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种刷片式晶圆清洗机摆臂机构，包括主升降机构和调节机构，调节机构带动主升降机构进行旋转运动和升降运动，主升降机构包括用于连接刷头的升降臂和带动升降臂沿竖直方向位移的第一驱动装置，调节机构包括转动装置和微调装置，转动装置带动第一驱动装置在平行于晶圆的平面内枢转，进而带动升降臂在平行于晶圆的平面内旋转，微调装置带动转动装置和第一驱动装置同步沿竖直方向在预设范围内升降，进而带动升降臂在预设范围内升降。本发明解决了现有技术中通过直线电机等装置直接控制刷头的升降，由于刷头下降速度较快，难以对其与晶圆之间的相对位置进行微调，从而存在造成晶圆表面发生接触损伤的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 刷片式晶圆 清洗 机摆臂 机构 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于智程半导体设备科技（昆山）有限公司，未经智程半导体设备科技（昆山）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202211044536.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
