[发明专利]一种光波导模斑转换装置及其制造方法有效
| 申请号： | 202211038179.0 | 申请日： | 2022-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN115113329B | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 冯大增;仇超;田斌;王奕琼 | 申请（专利权）人： | 上海羲禾科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/14 | 分类号： | G02B6/14 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 贾允 |
| 地址： | 201306 上海市浦东新区中国（上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请涉及集成光芯片技术领域，特别涉及一种光波导模斑转换装置及其制造方法，该装置包括硅衬底、氧化硅埋层、绝缘体层、楔形波导、电介质层和辅助波导；楔形波导设置于绝缘体层上；绝缘体层设置于氧化硅埋层上；氧化硅埋层设置于衬底上；楔形波导的大头端用于与硅光波导连接；电介质层设置于绝缘体层上，并包围楔形波导；辅助波导设置于电介质层上；辅助波导用于在楔形波导的小头端与光纤耦合；楔形波导的大头端用于与硅光波导连接；辅助波导的第一折射率小于楔形波导的第二折射率，且大于电介质层的第三折射率。可以降低模斑尺寸转换时对楔形波导的小头端尺寸的敏感性；降低光偏振相关损耗；降低硅光波导与光纤之间模斑转换的失配损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 波导 转换 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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