[发明专利]一种声表面波谐振器在审
| 申请号： | 202211034736.1 | 申请日： | 2022-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN115412052A | 公开（公告）日： | 2022-11-29 |
| 发明（设计）人： | 欧欣;孙米静;张师斌;郑鹏程;隋东辰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | H03H9/25 | 分类号： | H03H9/25;H03H9/145 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 何卿华 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种声表面波谐振器，包括：由下至上层叠设置的支撑衬底、压电薄膜和电极结构；电极结构的两侧分别设置有一个反射栅阵列；电极结构包括输入区叉指电极阵列、切换区叉指电极阵列和输出区叉指电极阵列；输入区叉指电极阵列、切换区叉指电极阵列和输出区叉指电极阵列并列且串联连接；输入区叉指电极阵列的输入端为声表面波谐振器的输入端，输入区叉指电极阵列的输出端与切换区叉指电极阵列的输入端连接；切换区叉指电极阵列的输出端与输出区叉指电极阵列的输入端连接，输出区叉指电极阵列的输出端为声表面波谐振器的输出端。本发明能够在保证声表面波谐振器性能的同时，有效降低其静态电容，满足设计需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面波 谐振器 | ||
【主权项】：
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