[发明专利]一种声表面波谐振器

说明书

本发明公开了一种声表面波谐振器，包括：由下至上层叠设置的支撑衬底、压电薄膜和电极结构；电极结构的两侧分别设置有一个反射栅阵列；电极结构包括输入区叉指电极阵列、切换区叉指电极阵列和输出区叉指电极阵列；输入区叉指电极阵列、切换区叉指电极阵列和输出区叉指电极阵列并列且串联连接；输入区叉指电极阵列的输入端为声表面波谐振器的输入端，输入区叉指电极阵列的输出端与切换区叉指电极阵列的输入端连接；切换区叉指电极阵列的输出端与输出区叉指电极阵列的输入端连接，输出区叉指电极阵列的输出端为声表面波谐振器的输出端。本发明能够在保证声表面波谐振器性能的同时，有效降低其静态电容，满足设计需求。

技术领域

本发明涉及微电子器件技术领域，尤其是涉及一种声表面波谐振器。

背景技术

声表面波谐振器的静态电容与叉指电极IDT对数、孔径宽度成正比。声表面波滤波器由声表面波谐振器根据特定拓扑排列组合而成，为了满足滤波器的参数需求，各个谐振器的静态电容C0需要互相匹配，在部分拓扑结构中，要求谐振器具有很小的静态电容。

传统声表面波谐振器通常采用减少IDT对数和孔径宽度来实现小静态电容，但这会降低声表面谐振器的品质因子。现有声表面波谐振器通常采用两个叉指换能器并排设置串联连接形成电极结构，以增大谐振器的阻抗实现静态电容的减小，但是两个叉指换能器并排设置，会因为声波耦合而产生新的杂波，导致现有的声表面波谐振器性能较差。

发明内容

本发明提供一种声表面波谐振器，以解决现有的声表面波谐振器采用两个叉指换能器并排设置形成电极结构，由于声波耦合而产生新的杂波，导致现有的声表面波谐振器性能较差的技术问题。

本发明的一个实施例提供了一种声表面波谐振器，包括：

由下至上层叠设置的支撑衬底、压电薄膜和电极结构；

所述电极结构的两侧分别设置有一个反射栅阵列；

所述电极结构包括输入区叉指电极阵列、切换区叉指电极阵列和输出区叉指电极阵列；

所述输入区叉指电极阵列、所述切换区叉指电极阵列和所述输出区叉指电极阵列并列且串联连接；

所述输入区叉指电极阵列的输入端为所述声表面波谐振器的输入端，所述输入区叉指电极阵列的输出端与所述切换区叉指电极阵列的输入端连接；所述切换区叉指电极阵列的输出端与所述输出区叉指电极阵列的输入端连接，所述输出区叉指电极阵列的输出端为所述声表面波谐振器的输出端。

进一步的，所述输入区叉指电极阵列、所述切换区叉指电极阵列和所述输出区叉指电极阵列的孔径宽度和空气隙宽度相同。

进一步的，所述输入区叉指电极阵列、所述切换区叉指电极阵列和所述输出区叉指电极阵列的对数均可以根据需要调整。

进一步的，所述切换区叉指电极阵列的周期预设范围为Lambda(1±0.1％)。

进一步的，所述输入区叉指电极阵列、切换区叉指电极阵列和输出区叉指电极阵列之间的距离，以及所述反射栅阵列与电极结构之间的距离的预设范围为(0,Lambda]。

进一步的，所述压电薄膜的材料为铌酸锂或钽酸锂的其中一种。

进一步的，所述支撑衬底的材料为单晶碳化硅、蓝宝石或硅的其中一种。

进一步的，所述电极结构的材料包括铝、铜、金、铂和银的至少一种。