[发明专利]一种OLED蒸镀生产静电消除装置及方法在审
| 申请号： | 202211031677.2 | 申请日： | 2022-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN115216739A | 公开（公告）日： | 2022-10-21 |
| 发明（设计）人： | 张麒麟;郑国清 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H05F3/06 |
| 代理公司： | 福州市鼓楼区京华专利事务所(普通合伙) 35212 | 代理人： | 吴学林 |
| 地址： | 351100 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种OLED蒸镀生产静电消除装置及方法，涉及OLED生产技术领域。所述装置包括：光罩；至少一个遮挡区，设置于所述光罩的基材上，所述遮挡区与玻璃基板上OLED镀膜区一一对应，且每一所述遮挡区的面积均不小于对应的OLED镀膜区的面积；定位区，设置于所述光罩的基材上，用于与感应装置配合对所述光罩进行定位；静电消除光源，设置于所述光罩上方。本发明提供的一种OLED蒸镀生产静电消除装置及方法，使带有OLED镀膜的玻璃基板在真空环境下可以有效消除静电，实现简单且无需另增设专门除静电腔体，成本低，还可以对应多种OLED产品，提高产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 oled 生产 静电 消除 装置 方法 | ||
【主权项】：
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