[发明专利]一种叶盘叶尖表面沉积工艺方法有效
| 申请号： | 202211014802.9 | 申请日： | 2022-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN115094373B | 公开（公告）日： | 2022-11-22 |
| 发明（设计）人： | 张佳 | 申请（专利权）人： | 北京辰融科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/16;C23C14/06;C23C14/32;C23C14/35 |
| 代理公司： | 哈尔滨龙科专利代理有限公司 23206 | 代理人： | 李智慧 |
| 地址： | 100873 北京市海淀区中*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种叶盘叶尖表面沉积工艺方法，属于航天发动机技术领域，具体方案包括如下步骤：步骤一、对叶盘进行超声清洗；步骤二、利用冷阴极霍尔源对叶盘进行等离子体处理；步骤三、利用磁过滤沉积技术对叶盘表面沉积过渡族金属元素层；步骤四、利用磁过滤和磁控溅射复合沉积稀贵金属膜层；步骤五、利用磁过滤和磁控溅射复合沉积稀贵氮化物层。本发明的技术制备叶盘叶尖涂层致密性好，涂层结合强度更高，涂层厚度更厚，因纳米晶的存在其耐高温能力更强，抗冲蚀更加可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 叶尖 表面 沉积 工艺 方法 | ||
【主权项】：
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