[发明专利]一种电推进试验防羽流溅射系统在审
| 申请号： | 202211002136.7 | 申请日： | 2022-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN115556972A | 公开（公告）日： | 2023-01-03 |
| 发明（设计）人： | 翁警涛;徐华勒;杨川;姜晓源;孔宏伟;张小伟;何静锋;何吉贤 | 申请（专利权）人： | 杭州航验环境技术有限公司 |
| 主分类号： | B64G7/00 | 分类号： | B64G7/00;G01R1/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开的一种电推进试验防羽流溅射系统，置于真空容器内，其特征在于：至少包括正面束流挡靶、周面防溅射屏以及暗区束流挡靶，三者所围成的腔体近似封闭，并与真空容器形成夹层，而电推进器位于所述腔体中；所述正面束流挡靶布置在电推进器前侧，暗区束流挡靶布置在电推进器后侧，而周面防溅射屏呈圆筒型，位于正面束流挡靶、暗区束流挡靶之间。以此，电推进器产生的高能离子所形成的羽流主要冲击在正面束流挡靶上，消耗了大部分高能离子的能量，但仍有部分高能离子被反射至周面防溅射屏上，经由周面防溅射屏的缓冲作用，进一步削弱了高能离子的能量，暗区束流挡靶则基本将剩余的高能离子能量吸收殆尽，有效保护真空容器内的设备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 推进 试验 防羽流 溅射 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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