[发明专利]一种干涉系统在审
| 申请号： | 202210992776.0 | 申请日： | 2022-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN115164714A | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 谭凤泽;朱瑞;郝成龙;朱健 | 申请（专利权）人： | 深圳迈塔兰斯科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/02015 | 分类号： | G01B9/02015;G01B11/24 |
| 代理公司： | 深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙) 44285 | 代理人： | 孙超 |
| 地址： | 518101 广东省深圳市宝安区新安街道*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种干涉系统，其中，该干涉系统包括：发射模组、干涉镜组和接收屏；发射模组包括半透半反镜，用于向干涉镜组发射不同角频率的测量光束；干涉镜组包括第一表面和第二表面，第一表面或第二表面为超表面，超表面具有的相位分布能够缩小相邻级次的条纹之间的间距；第一表面用于将部分测量光束反射并将另外部分测量光束透射；第二表面用于将另外部分测量光束反射；半透半反镜用于将由第一表面射出的光束射向接收屏。通过本发明实施例提供的干涉系统，令两表面中任一表面为超表面，可以基于超表面所具有的相位分布，使原本在远场形成的干涉条纹的固有相位分布变化得更加剧烈，进而使相邻条纹之间的间距更小，干涉条纹更加精细。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 干涉 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳迈塔兰斯科技有限公司，未经深圳迈塔兰斯科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210992776.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种缺陷检测方法、系统及装置
- 下一篇：一种电子传输层及其制备方法和应用
