[发明专利]一种干涉系统

权利要求书

1.一种干涉系统，其特征在于，包括：发射模组(1)、干涉镜组(2)和接收屏(3)；

所述发射模组(1)包括设置在靠近所述干涉镜组(2)一侧的半透半反镜(11)，所述发射模组(1)用于向所述干涉镜组(2)发射不同角频率的测量光束，且所述不同角频率的测量光束射入所述干涉镜组(2)的入射位置不同；

所述干涉镜组(2)包括第一表面(21)和第二表面(22)，所述第一表面(21)或所述第二表面(22)为超表面，所述超表面具有的相位分布能够缩小相邻级次的条纹之间的间距；所述第一表面(21)为能够实现透射和反射的表面，用于将部分所述测量光束反射向所述半透半反镜(11)，并将另外部分所述测量光束透射向所述第二表面(22)；所述第二表面(22)用于将另外部分所述测量光束反射，并透过所述第一表面(21)射向所述半透半反镜(11)；

所述半透半反镜(11)用于将由所述第一表面(21)射出的光束射向所述接收屏(3)；所述接收屏(3)用于接收多个所述条纹构成的干涉条纹。

2.根据权利要求1所述的干涉系统，其特征在于，所述发射模组(1)还包括光源(12)和准直透镜(13)；

所述光源(12)用于产生出射角与角频率一一对应的初始光束，且所述出射角为多个；

所述准直透镜(13)设置于所述光源(12)的出光侧，且二者之间的距离为所述准直透镜(13)的焦距，所述准直透镜(13)用于对所述初始光束进行准直得到准直光束，并将所述准直光束射向所述半透半反镜(11)；

所述半透半反镜(11)还用于将至少部分所述准直光束作为测量光束射向所述第一表面(21)。

3.根据权利要求2所述的干涉系统，其特征在于，所述半透半反镜(11)用于将至少部分所述准直光束作为测量光束透射向所述第一表面(21)，并将由所述第一表面(21)射出的光束反射向所述接收屏(3)；或者，

所述半透半反镜(11)用于将至少部分所述准直光束作为测量光束反射向所述第一表面(21)，并将由所述第一表面(21)射出的光束透射向所述接收屏(3)。

4.根据权利要求2所述的干涉系统，其特征在于，所述准直透镜(13)包括用于消除色差的透镜。

5.根据权利要求2所述的干涉系统，其特征在于，所述准直透镜(13)为超透镜。

6.根据权利要求2所述的干涉系统，其特征在于，所述初始光束的出射角满足：

其中，θ表示所述初始光束的出射角；R表示所述初始光束射向所述准直透镜(13)的位置与所述准直透镜(13)中心的径向距离；f表示所述准直透镜(13)的焦距。

7.根据权利要求1所述的干涉系统，其特征在于，所述第一表面(21)平行于所述第二表面(22)。

8.根据权利要求1所述的干涉系统，其特征在于，所述干涉镜组(2)中，所述测量光束射入所述超表面的入射位置和所述入射位置处的测量光束的角频率之间的函数，与所述超表面沿径向的相位分布具有相同的单调性。

9.根据权利要求8所述的干涉系统，其特征在于，所述干涉镜组(2)中，所述测量光束射入所述超表面的入射位置处的相位与射向所述入射位置处的所述测量光束的角频率正相关。

10.根据权利要求1所述的干涉系统，其特征在于，所述干涉镜组(2)的相位分布满足：

其中，ψ[ω(r)]表示所述干涉镜组(2)的相位分布；f[ω(r)]表示所述第一表面(21)与所述第二表面(22)之间的距离所产生的光程差导致的固有相位分布；l表示所述超表面的半径，且所述干涉镜组(2)的相位分布ψ[ω(r)]在所述超表面的半径范围内为连续的函数。