[发明专利]一种缺陷检测方法、系统及装置在审
| 申请号： | 202210992763.3 | 申请日： | 2022-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN115165897A | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 邱杰豪;李睿宇;吕江波;沈小勇 | 申请（专利权）人： | 深圳思谋信息科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京信远达知识产权代理有限公司 11304 | 代理人： | 柳欣 |
| 地址： | 518063 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种缺陷检测方法、系统及装置，在缺陷检测过程中，可以根据待检测样件的特征参数，确定多角度光源的第一打光方式和多波段光源的第二打光方式，进而在第一检测工位，控制多角度光源以第一打光方式对待检测样件进行打光，并在多角度光源打光的过程中控制第一采集设备采集第一影像，之后在第二检测工位，控制多波段光源以第二打光方式对待检测样件进行打光，并在多波段光源打光的过程中控制第二采集设备采集第二影像，由于两个光源所提供的光束不同，因此采集到的第一影像和第二影像能够从不同层面反映待检测样件的缺陷情况，基于此，根据第一影像和第二影像对待检测样件的进行缺陷检测，能够更为准确地检测出待检测样件的缺陷情况。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 缺陷 检测 方法 系统 装置 | ||
【主权项】：
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