[发明专利]一种磁控溅射镀膜方法及金属化塑料膜及其应用在审
| 申请号： | 202210983386.7 | 申请日： | 2022-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN115341171A | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | 王天兵;李学法;张国平 | 申请（专利权）人： | 扬州纳力新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/20;C23C14/35;C23C14/56;H01M4/66;H01M10/0525 |
| 代理公司： | 安徽善安知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 34200 | 代理人： | 石家惠 |
| 地址： | 225202 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种磁控溅射镀膜方法及金属化塑料膜及其应用，属于复合集流体生产技术领域，首先在塑料膜表面镀过渡层，再镀金属层，塑料膜分别经过相互隔离的不同的单元室内进行镀过渡层和镀金属层，且镀过渡层时的单元室内的气压不大于镀金属层时单元室内的气压。采用本发明的方法进行镀膜时，靶材之间不会互相污染，并且各个膜层之间也不会互相污染；同时在磁控溅射镀膜过程中，可对相互隔离的不同的单元室进行单独的气压和其他参数设置，能够满足工艺多样化的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 镀膜 方法 金属化 塑料膜 及其 应用 | ||
【主权项】：
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