[发明专利]一种基于离子束修形的连续相位板制备方法在审
| 申请号： | 202210956974.1 | 申请日： | 2022-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN115477476A | 公开（公告）日： | 2022-12-16 |
| 发明（设计）人： | 石芳霞;季建成;陈相;苏元元 | 申请（专利权）人： | 上海延目光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00;G02B27/09 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201812 上海市嘉定区江*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于离子束修形的连续相位板制备方法，属于光学加工技术领域，制备方法利用离子束修形技术去除函数尺寸小、修形能力强、加工确定性高、无加工边缘效应的特点，采用不同束径去除函数组合加工以及面形滤波工艺，直接在光学元件表面加工出具有复杂微结构的连续相位板设计图案。该方法充分利用离子束大尺寸去除函数的高去除效率和小尺寸去除函数的精修能力，同时结合面形滤波工艺，在提高加工精度的同时提高加工效率，对于连续相位板复杂微结构的加工有很大的优越性。该方法充分发挥离子束去除函数加工精度高、确定性强的能力，根据连续相位板面形频率分布实现最大材料去除量，具有工艺简单、加工精度高、成形效率高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 离子束 连续 相位 制备 方法 | ||
【主权项】：
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