[发明专利]用于以层特定照明光谱的计量的系统及方法在审
| 申请号： | 202210942537.4 | 申请日： | 2018-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN115307735A | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | A·玛纳森;D·内格里;A·V·希尔;O·巴沙尔;V·莱温斯基;Y·帕斯卡维尔 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G01J3/28 | 分类号： | G01J3/28;G01J3/02 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请实施例涉及用于以层特定照明光谱的计量的系统及方法。本发明涉及一种计量系统，其包含图像装置及控制器。所述图像装置包含光谱可调照明装置及检测器，所述检测器用于基于响应于来自所述光谱可调照明装置的照明而从所述样本发出的辐射产生具有两个或两个以上样本层上的计量目标元件的样本的图像。所述控制器确定所述成像装置的层特定成像配置以在所选择的图像质量容限内成像所述两个或两个以上样本层上的所述计量目标元件，其中每一层特定成像配置包含来自所述光谱可调照明装置的照明光谱。所述控制器进一步接收使用所述层特定成像配置产生的所述两个或两个以上样本层上的所述计量目标元件的一或多个图像。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 特定 照明 光谱 计量 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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