[发明专利]环境温度可控式微纳精度电涡流传感器件测试平台在审
| 申请号： | 202210934828.9 | 申请日： | 2022-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN115289954A | 公开（公告）日： | 2022-11-04 |
| 发明（设计）人： | 李弘恺;李子函;张彤 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | G01B7/02 | 分类号： | G01B7/02;G01B7/06 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 蒋松 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种环境温度可控式微纳精度电涡流传感器件测试平台，包括基座、移动模块、载物组件、位移传感器、探头装持模块、探头和温度控制模块，移动模块用于至少在第一水平方向上移动载物组件，位移传感器与移动模块相连，用于测量载物组件的相对位移距离，探头安装在探头装持模块上并与载物组件在第一水平方向上相对，探头装持模块用于至少在与第一水平方向垂直的第二水平方向和竖直方向上移动探头。本发明公开的电涡流传感器件测试平台整体呈水平布置，利用单位移传感器在线测量提离距离的方式对提离距离进行精确的调节，并且温度控制模块实现了局部温度监测与调节，使得探头和被测样品环境温度可测可控。 | ||
| 搜索关键词： | 环境温度 可控 式微 精度 涡流 传感 器件 测试 平台 | ||
【主权项】：
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