[发明专利]一种黄光工艺曝光用的掩膜版修复方法

摘要

本发明涉及一种黄光工艺曝光用的掩膜版修复方法，包括如下步骤：对掩膜版定期检测缺陷情况并定位缺陷位置，根据缺陷的大小状况，采用不同规格的金属工具针蘸取阻光剂填充至对应缺陷位置，观察平整度和阻光性，根据要求调整，填充完全后进行固化处理；然后置于药剂中进行超声处理，再采用去离子水常温清洗，干燥后得到黄光工艺曝光用的修复后掩膜版；其中所述药剂为含有碱性化合物和二乙二醇丁醚的水溶液；以上修复方法还包括对所述修复后掩膜版进行防粘处理：将修复后掩模版需要与光刻材料接触的一面贴合防粘膜后进行加压脱泡处理。本发明修复方法能够提高产品曝光良率，且掩膜版不与材料发生粘连，降低制造企业的成本。