[发明专利]静电消除装置及方法和蒸镀设备在审
| 申请号： | 202210927766.9 | 申请日： | 2022-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN115209598A | 公开（公告）日： | 2022-10-18 |
| 发明（设计）人： | 吕勇;云洋;苏建华;张正龙 | 申请（专利权）人： | 深圳奥拦科技有限责任公司;马鞍山市安马电子设备实业有限公司 |
| 主分类号： | H05F3/00 | 分类号： | H05F3/00;C23C14/24;C23C14/04;C23C14/56 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 纪婷婧 |
| 地址： | 518101 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及静电消除装置及方法和蒸镀设备。所述静电消除装置，包括：气体离化模组，连接于真空腔体，用于离化所述真空腔体内的气体产生正离子和负离子，所述正离子和所述负离子中的一种用于中和带电基板携带的电荷；电荷吸附模组，连接于所述真空腔体，所述电荷吸附模组包括相连接的金属导电网、电源，所述金属导电网置于所述真空腔体内，所述金属导电网用于在接收到所述电源施加的电压时，吸附所述正离子和所述负离子中的另一种。采用本装置能够在消除基板所携带的原静电荷的基础上，进一步消除真空腔体内残留电荷，实现消除静电的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 消除 装置 方法 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳奥拦科技有限责任公司;马鞍山市安马电子设备实业有限公司，未经深圳奥拦科技有限责任公司;马鞍山市安马电子设备实业有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210927766.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种生化免疫检测结果智能审核系统
- 下一篇：一种大型电机座的修复方法
