[发明专利]声表面波器件的叉指电极的制造方法在审
| 申请号： | 202210922924.1 | 申请日： | 2022-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN115276584A | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 翁志坤;张溢涛;曾沣 | 申请（专利权）人： | 广东广纳芯科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/08 | 分类号： | H03H3/08;H03H9/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 周全 |
| 地址： | 510700 广东省广州市黄埔区（*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种用于制造声表面波器件的叉指电极的方法，包括：在压电衬底上形成层叠体，包括：在所述压电衬底上形成缓冲层；在所述缓冲层上形成合金层；以及在所述合金层上形成金属层；以及对所述层叠体进行热处理。 | ||
| 搜索关键词： | 表面波 器件 电极 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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