[发明专利]一种用于制造薄膜体声波谐振器的制造方法在审
| 申请号： | 202210921239.7 | 申请日： | 2022-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN115242205A | 公开（公告）日： | 2022-10-25 |
| 发明（设计）人： | 许欣 | 申请（专利权）人： | 广东广纳芯科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 周全 |
| 地址： | 510700 广东省广州市黄埔区（*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种用于制造薄膜体声波谐振器的制造方法，其特征在于，包括：形成第一键合体，包括：在第一衬底上形成膜层；对所述膜层进行改性；和在所述膜层上形成第一电极；形成第二键合体，包括：在第二衬底的表面上形成凹槽；以所述第一电极的表面和所述第二衬底的形成有所述凹槽的表面作为键合界面，来将所述第一键合体与所述第二键合体键合；将所述第一衬底去除；以及在所述第一衬底被去除之后所暴露的所述膜层的表面上形成第二电极。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 制造 薄膜 声波 谐振器 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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