[发明专利]一种具有大偏摆角度、高抗振能力的二维快速控制反射镜

摘要

本发明公开了一种具有大偏摆角度、高抗振能力的二维快速控制反射镜，包括反射镜片、镜架、限位螺钉、中心柔性铰、四个相同的音圈执行器构成的驱动组件、四个相同的电容式位移传感器构成的反馈组件、安装底座、线夹、底盖。中心柔性铰的下端与安装底座的中心安装接口固定、上端与镜架的中心安装接口固定，反射镜片固定安装在镜架上。驱动组件呈“十”字对称布置在镜架与安装底座之间，驱动组件的动模块与镜架固定连接、定模块与安装底座固定连接。反馈组件呈“十”字对称布置在镜架与安装底座之间，反馈组件的动极板与镜架固定连接，定极板与安装底座固定连接。驱动组件的四个音圈执行器与反馈组件的四个电容式位移传感器成45°交替分布。该型快反镜结构紧凑、体积小、重量轻、偏转角度大、抗振动能力强。