[发明专利]压电薄膜、压电薄膜元件及压电转换器在审
| 申请号： | 202210915006.6 | 申请日： | 2022-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN115942857A | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 森下纯平 | 申请（专利权）人： | TDK株式会社 |
| 主分类号： | H10N30/853 | 分类号： | H10N30/853;H10N30/50 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦;尹明花 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的压电薄膜具备下部层和直接或间接地重叠于下部层的第一压电层。第一压电层包含钙钛矿型氧化物的四方晶1。四方晶1的(001)面在第一压电层的表面的法线方向dn上取向。四方晶1的(100)面的间隔为a1。下部层所含的晶体的(100)面的间隔为aL。第一压电层和下部层之间的晶格不匹配率被定义为100×(aL－a1)/a1。晶格不匹配率为3.0％以上且12.1％以下。四方晶1的(001)面的衍射X射线的摇摆曲线是在第一压电层的表面的面外方向上测定的。摇摆曲线的半峰全宽为1.9°以上且5.5°以下。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 薄膜 元件 转换器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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