[发明专利]一种多功能研磨垫调整器及化学机械抛光设备在审
| 申请号： | 202210906784.9 | 申请日： | 2022-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN115229672A | 公开（公告）日： | 2022-10-25 |
| 发明（设计）人： | 唐强;蒋锡兵 | 申请（专利权）人： | 北京烁科精微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/20 | 分类号： | B24B37/20;B24B37/34;B24B47/22;B24B57/02 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 王艺涵 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种多功能研磨垫调整器及化学机械抛光设备，包括：基座，其上设置动力装置；连接杆，所述连接杆的一端铰接所述基座，所述连接杆的另一端套设有调整器，研磨液输出装置，包括管体，所述管体的两端形成进液口和出液口，所述进液口设置在所述基座上，所述出液口设置在所述调整器上，所述管体穿过所述基座、所述连接杆和所述调整器；管体内流通有研磨液，研磨液会输送在调整器处，从而减少现有技术中的研磨液在输出臂输出研磨垫高速旋转会因为离心力甩出研磨垫之外造成的浪费，且将研磨液输出功能和调整器的结构组合，有利于空间利用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多功能 研磨 调整器 化学 机械抛光 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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