[发明专利]一种超声波真空测量规管在审
| 申请号： | 202210894510.2 | 申请日： | 2022-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN114964614A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 刘立峰;贺良武;柳灵;杜春林 | 申请（专利权）人： | 成都睿宝电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L21/08 | 分类号： | G01L21/08 |
| 代理公司： | 成都行之智信知识产权代理有限公司 51256 | 代理人： | 宋辉 |
| 地址： | 610000 四川省成都市未来科*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超声波真空测量规管，超声波的发射和接收用同一陶瓷膜片探头完成，将探头置于规管一侧，与探头相对的一侧为平整的规管壁，发射出的超声波会反射回来由接探头接收，探头内部加入一个温度传感器，检测规管内温度变化，进行温度补偿。在抽气过程中，由于真空逐步变高，超声波的传播速度逐步变慢。整体规管的长度一定，因此超声波从发射到接收的时间就会发生变化，由此反应容器中真空度的变化。硬件设计1Mhz的超声波发射与接收电路，通过控制器的控制，使超声波的发射与接收可控，计算出超声波在不同真空度下的时间差异即可实现真空装置的真空度测量。本发明制作成本低，长期稳定性好，不会对测量系统产生热辐射、光污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超声波 真空 测量 | ||
【主权项】：
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