[发明专利]一种高灵敏度微型原子层热电堆热流传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202210881824.9 | 申请日： | 2022-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN115411171A | 公开（公告）日： | 2022-11-29 |
| 发明（设计）人： | 赵睿鹏;陈曦;陶伯万;李禛哲;钟耀;陶然;徐毅;熊兵 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学;中国航发四川燃气涡轮研究院 |
| 主分类号： | H01L35/32 | 分类号： | H01L35/32;H01L35/34;H01L35/10 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 闫树平 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明属于热流传感器技术领域，具体涉及一种高灵敏度微型原子层热电堆热流传感器及其制备方法。本发明通过采用两种热电势信号极性相反的热电堆线条制备多线条结构，以避免同种ALTP材料制备多线条结构所必须的导电金膜的使用，在此基础上进一步显著提高了ALTP薄膜的有效长度；在保证ALTP热流传感器的灵敏度的前提下缩小传感器尺寸，从而降低传感器对流场的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 灵敏度 微型 原子 热电 热流 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于电子科技大学;中国航发四川燃气涡轮研究院，未经电子科技大学;中国航发四川燃气涡轮研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210881824.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
