[发明专利]一种缓冲力可调的Z轴下压机构在审
| 申请号： | 202210880822.8 | 申请日： | 2022-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN115228767A | 公开（公告）日： | 2022-10-25 |
| 发明（设计）人： | 闵康;李丹 | 申请（专利权）人： | 苏州思铂创半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B07C5/34 | 分类号： | B07C5/34;B30B1/26;B30B15/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 苏州优博知识产权代理事务所(普通合伙) 32487 | 代理人： | 石煜 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明属于半导体测试分选设备技术领域，尤其为一种缓冲力可调的Z轴下压机构，包括固定块，所述固定块上固定安装有伺服电机，所述固定块一侧固定设置有直线导轨，所述直线导轨侧面的滑块上固定安装有下压支板，本发明避免在吸附极薄IC芯片时，由于器件本身的厚度误差或设备动作异常造成行程过压，过大的冲击力导致IC芯片损坏或者内部隐裂等隐患；凸轮通过顶丝与伺服电机轴端紧固，下压杆通过角度转动实现下压杆的Z轴往复运动；下压支架通过螺钉紧固在直线导轨的滑块上；上抬复位拉簧作用于下压支板与机构固定块之间，使得凸轮与凸轮随动器高速下压过程中不会过冲脱离，始终保持接触状态。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 缓冲 可调 下压 机构 | ||
【主权项】：
暂无信息
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