[发明专利]一种全通信波段覆盖的高速光电探测器有效

专利信息
申请号: 202210869708.5 申请日: 2022-07-21
公开(公告)号: CN115207150B 公开(公告)日: 2023-10-10
发明(设计)人: 李冲;高昕元;刘芮汐;李占杰;于书伟;刘云飞 申请(专利权)人: 北京工业大学
主分类号: H01L31/105 分类号: H01L31/105;H01L31/0224;H01L31/0236;H01L31/18
代理公司: 北京汇信合知识产权代理有限公司 11335 代理人: 王维新
地址: 100124 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种全通信波段覆盖的高速光电探测器,高速光电探测器是半导体光电探测器件;半导体光电探测器件为台面结构,包括自下向上依次设置的衬底层、本征吸收层、等离激元纳米金属颗粒层和透明电极层;衬底层通过刻蚀暴露在台面结构的下台面,本征吸收层位于台面结构的上台面;衬底层上设有第一金属电极,透明电极层上设有第二金属电极;本征吸收层的表面纵向制作周期性锥形空气孔洞形成光子晶体;周期性锥形空气孔洞内填充有禁带宽度不同于本征吸收层材料的其他半导体材料以形成锥形孔洞材料填充区。本发明适用探测波长范围为紫外、可见光、近红外波段,同时具有高吸收效率、高集成度等优点。
搜索关键词: 一种 通信 波段 覆盖 高速 光电 探测器
【主权项】:
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