[发明专利]一种全通信波段覆盖的高速光电探测器有效
申请号: | 202210869708.5 | 申请日: | 2022-07-21 |
公开(公告)号: | CN115207150B | 公开(公告)日: | 2023-10-10 |
发明(设计)人: | 李冲;高昕元;刘芮汐;李占杰;于书伟;刘云飞 | 申请(专利权)人: | 北京工业大学 |
主分类号: | H01L31/105 | 分类号: | H01L31/105;H01L31/0224;H01L31/0236;H01L31/18 |
代理公司: | 北京汇信合知识产权代理有限公司 11335 | 代理人: | 王维新 |
地址: | 100124 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种全通信波段覆盖的高速光电探测器,高速光电探测器是半导体光电探测器件;半导体光电探测器件为台面结构,包括自下向上依次设置的衬底层、本征吸收层、等离激元纳米金属颗粒层和透明电极层;衬底层通过刻蚀暴露在台面结构的下台面,本征吸收层位于台面结构的上台面;衬底层上设有第一金属电极,透明电极层上设有第二金属电极;本征吸收层的表面纵向制作周期性锥形空气孔洞形成光子晶体;周期性锥形空气孔洞内填充有禁带宽度不同于本征吸收层材料的其他半导体材料以形成锥形孔洞材料填充区。本发明适用探测波长范围为紫外、可见光、近红外波段,同时具有高吸收效率、高集成度等优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 通信 波段 覆盖 高速 光电 探测器 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的