[发明专利]一种BGA/LGA器件背面EMMI失效分析方法在审
| 申请号: | 202210869391.5 | 申请日: | 2022-07-21 |
| 公开(公告)号: | CN115902597A | 公开(公告)日: | 2023-04-04 |
| 发明(设计)人: | 高立;杨迪;李旭;周钦沅;吕贤亮;贺峤;刘晨 | 申请(专利权)人: | 中国电子技术标准化研究院 |
| 主分类号: | G01R31/307 | 分类号: | G01R31/307;G01R31/311;G01R31/28;G01N23/04 |
| 代理公司: | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人: | 王兆波 |
| 地址: | 100011 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种BGA/LGA器件背面EMMI失效分析方法,本方法对利用研磨技术得到的BGA/LGA器件基板版图进行分析和采用X射线技术,确定绑定线和器件焊球的一一对应关系,为器件背面EMMI提供准确的电性连接,实现BGA/LGA器件背面EMMI分析。在进行集成电路背面EMMI时,首先要实现正确地电性连接,因IO端口众多且绑定线先通过基板重新布线,再和外部焊点相连。本发明能够快速、简便地获得BGA/LGA器件绑定线和外部焊点的一一对应关系,从而给BGA/LGA器件路背面EMMI提供准确的电性连接,实现BGA/LGA器件的背面EMMI失效分析,扩大集成电路背面EMMI失效分析的适用性,减少集成电路背面EMMI的局限性。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 bga lga 器件 背面 emmi 失效 分析 方法 | ||
【主权项】:
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