[发明专利]一种二维材料真空转移装置在审
| 申请号： | 202210861991.7 | 申请日： | 2022-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN115180385A | 公开（公告）日： | 2022-10-14 |
| 发明（设计）人： | 陈汉阳;许智;王水元 | 申请（专利权）人： | 东莞市卓聚科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/74 | 分类号： | B65G47/74;B65G47/82;B65G47/24;G01N21/01;G01N21/13;G01N21/84 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 何世磊 |
| 地址： | 523000 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种二维材料真空转移装置，包括隔振平台、光学观察系统、精密操控台、控制器和真空系统，光学观察系统和精密操控台安装在隔振平台上；精密操控台包括腔外X轴电动位移台、腔外Y轴电动位移台、腔体转接板、下腔体、上腔体、真空促动器、旋转台腔外动力器、放气阀门、密封石英板、真空接线板、腔内X轴直线位移台、腔内Y轴直线位移台、腔内Z轴直线位移台、磁吸样品座、载玻片架子、真空旋转台、旋转过线装置、真空加热台。本发明能够解决现有技术腔体的体积较大、无法有效的实现XYZ三个轴串联驱动的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 二维 材料 真空 转移 装置 | ||
【主权项】：
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