[发明专利]一种光刻机的晶片输送装置有效
| 申请号： | 202210859707.2 | 申请日： | 2022-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN115167079B | 公开（公告）日： | 2023-10-27 |
| 发明（设计）人： | 陈炳寺 | 申请（专利权）人： | 江苏晶杰光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;B65G13/06 |
| 代理公司： | 江苏长德知识产权代理有限公司 32478 | 代理人： | 刘传玉 |
| 地址： | 221300 江苏省徐州市邳州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光刻机的晶片输送装置，属于半导体材料技术领域，该光刻机的晶片输送装置包括晶片外箱和送料装置，送料装置位于晶片外箱的一侧，晶片外箱的一侧端固定连接有放料斜板，送料装置上设置有送料盘，且送料盘与放料斜板相对应；本发明中，工作人员只需将多个晶片放入多个晶片分隔条上，驱动组件通过升降组件控制升降内箱升降，升降内箱每次向上移动的距离相同，使最上层的晶片被推料组件和滚动组件控制移动，从而使晶片进入送料盘内通过送料装置输送，根据光刻机对晶片的光刻时间，升降内箱每次只将一个晶片送出，送出的时间相同，不需要人为干涉，从而避免晶片在输送的过程中发生堆积影响光刻机的取用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 晶片 输送 装置 | ||
【主权项】：
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