[发明专利]一种光刻机的晶片输送装置

说明书

本发明提供一种光刻机的晶片输送装置，属于半导体材料技术领域，该光刻机的晶片输送装置包括晶片外箱和送料装置，送料装置位于晶片外箱的一侧，晶片外箱的一侧端固定连接有放料斜板，送料装置上设置有送料盘，且送料盘与放料斜板相对应；本发明中，工作人员只需将多个晶片放入多个晶片分隔条上，驱动组件通过升降组件控制升降内箱升降，升降内箱每次向上移动的距离相同，使最上层的晶片被推料组件和滚动组件控制移动，从而使晶片进入送料盘内通过送料装置输送，根据光刻机对晶片的光刻时间，升降内箱每次只将一个晶片送出，送出的时间相同，不需要人为干涉，从而避免晶片在输送的过程中发生堆积影响光刻机的取用。

技术领域

本发明属于半导体材料技术领域，具体涉及一种光刻机的晶片输送装置。

背景技术

元素硅是一种灰色、易碎、四价的非金属化学元素。地壳成分中27.8％是硅元素构成的，仅次于氧元素含量排行第二，硅是自然界中比较富的元素。在石英、玛瑙、燧石和普通的滩石中就可以发现硅元素。硅晶片又称晶圆片，是由硅锭加工而成的，通过专门的工艺可以在硅晶片上刻蚀出数以百万计的晶体管，被广泛应用于集成电路的制造，硅属于半导体材料，其自身的导电性并不是很好，然而，可以通过添加适当的掺杂剂来精确控制它的电阻率。制造半导体前，必须将硅转换为晶圆片，这要从硅锭的生长开始。单晶硅是原子以三维空间模式周期形成的固体，这种模式贯穿整个材料。多晶硅是很多具有不同晶向的小单晶体单独形成的，不能用来做半导体电路。多晶硅必须融化成单晶体，才能加工成半导体应用中使用的晶圆片，其中，硅晶片在制造过程中的光刻工艺，是利用光刻机进行光刻。

目前，硅晶片在通过光刻机进行光刻时，需要使用输送装置将晶片移动至光刻机内，常见的输送装置是采用皮带输送，需要工作人员将晶片放置在皮带上，由于光刻机的光刻过程会产生一定的时间，皮带输送无法确定晶片的送达时间，容易导致晶片堆积，影响光刻机对晶片的取用。

发明内容

本发明的目的在于提供一种光刻机的晶片输送装置，旨在解决现有技术中的常见的输送装置是采用皮带输送，需要工作人员将晶片放置在皮带上，由于光刻机的光刻过程会产生一定的时间，皮带输送无法确定晶片的送达时间，容易导致晶片堆积，影响光刻机对晶片的取用的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种光刻机的晶片输送装置，包括晶片外箱和送料装置，所述送料装置位于晶片外箱的一侧，所述晶片外箱的一侧端固定连接有放料斜板，所述送料装置上设置有送料盘，且送料盘与放料斜板相对应，所述晶片外箱内滑动连接有升降内箱，所述晶片外箱的一侧端开凿有晶片放置口，且晶片放置口与升降内箱相对应，所述升降内箱内固定连接有多个晶片分隔条，所述升降内箱与晶片外箱之间设置有升降组件、驱动组件、推料组件和滚动组件，所述驱动组件通过升降组件控制升降内箱在晶片外箱内的升降，所述推料组件配合滚动组件用于控制晶片的移动。

作为本发明一种优选的方案，所述送料装置包括滑轨支撑架、电动滑轨和送料滑座，所述滑轨支撑架位于晶片外箱的一侧，所述电动滑轨固定连接于滑轨支撑架的上端，且电动滑轨与外部电源电性连接，所述送料滑座滑动连接于电动滑轨上，所述送料盘固定连接于送料滑座上。

作为本发明一种优选的方案，所述升降组件包括两个支撑块、两个滚珠丝杆和两个行程螺母，两个所述支撑块分别固定连接于晶片放置口的两侧壁，两个所述滚珠丝杆分别转动连接于两个支撑块上，两个所述行程螺母分别固定连接于升降内箱的两侧端，且两个行程螺母分别螺纹连接于两个滚珠丝杆的外表面。

作为本发明一种优选的方案，所述驱动组件包括驱动电机、主动转杆、两个主动锥形齿轮和两个从动锥形齿轮，所述驱动电机固定连接于晶片外箱的一侧端，且驱动电机与外部电源电性连接，所述主动转杆转动连接于晶片外箱内，且主动转杆的一端活动贯穿晶片外箱固定连接于驱动电机的输出端，两个所述主动锥形齿轮均固定连接于主动转杆的外表面，两个所述从动锥形齿轮分别固定连接于两个滚珠丝杆的底端，且两个从动锥形齿轮贯穿至两个支撑块的下侧分别与两个主动锥形齿轮相啮合。