[发明专利]一种毫米厚度石英玻璃的高质量切割方法

摘要

本发明提出一种毫米厚度石英玻璃的高质量切割方法，充分利用飞秒激光可突破衍射极限的指定位置处极小范围进行高精度加工，并具有空间分辨率高等特点，通过控制激光通量和聚焦条件，主要为飞秒激光进给方式、激光功率、扫描速度以及单次进给量，应用优选的工艺参数的飞秒激光对石英玻璃进行改性加工，再结合超声波辅助HF化学溶液对改性后样品进行选择性刻蚀的方法，实现对毫米厚度石英玻璃的高质量切割。该方法适用于厚度≤1000μm的石英玻璃的切割，使得加工后样品的陡直度可达89°以上，接近理想的角度，边缘崩边尺寸小于2μm，断面粗糙度小于0.5μm，该切割方法具有一定的适用性、可重复性，且能保证加工质量的一致性。