[发明专利]电容式真空规的膜片结构及电容式真空规在审
| 申请号： | 202210845215.8 | 申请日： | 2022-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN115265901A | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 林立男;高乐;刘旭强;陶硕;张琳琳;曹文静;廖兴才 | 申请（专利权）人： | 北京晨晶电子有限公司 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 耿琦 |
| 地址： | 100020*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种电容式真空规的膜片结构及电容式真空规，包括相对设置的固定极板和可动极板，固定极板和可动极板之间设有极板间隙，极板间隙为d，可动极板的厚度为t，其中，0.1d≤t≤25d。如此设置，通过限制可动极板厚度t和极板间隙d之间的比例关系，使得可动极板厚度t和极板间隙d之间保持较好的平衡关系，以避免长时间使用后固定极板和可动极板之间出现相对位移偏差，从而在满足电路使用要求的前提下，提升了电容式真空规的线性度，最终提高了电容式真空规的整体性能与稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 真空 膜片 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
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