[发明专利]一种高精密光学镜片镀膜方法在审
| 申请号： | 202210842848.3 | 申请日： | 2022-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN115572938A | 公开（公告）日： | 2023-01-06 |
| 发明（设计）人： | 林佳俊 | 申请（专利权）人： | 江西弘耀光学水晶有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/24;C23C14/58 |
| 代理公司： | 南昌金轩知识产权代理有限公司 36129 | 代理人： | 黄亮亮 |
| 地址： | 334000 江西省上*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明提供的高精密光学镜片镀膜方法，将光学镜片依次经过镜片清洗、镜片干燥、镜片安装、抽真空、蒸镀、镀膜后处理、检测步骤，在镜片安装步骤时，将光学镜片安装至安装架的蒸镀通道内，使得当进行抽真空步骤时，由真空泵产生的真空吸力将处于安装架至蒸发源之间的气体吸出，该部分气体在穿过蒸镀通道时，对光学镜片表面进行冲刷清洗，进而保障了光学镜片的洁净度，确保镀膜的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 精密 光学镜片 镀膜 方法 | ||
【主权项】：
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