[发明专利]一种检测物理气相沉积涂层结合力的划痕装置在审
| 申请号： | 202210841745.5 | 申请日： | 2022-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN115144328A | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 陈强;张而耕;梁丹丹;周琼;黄彪;张帆;孙思叡;孙国庆;李朝明 | 申请（专利权）人： | 上海应用技术大学;上海名古屋精密工具股份有限公司;上海离原环境科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N19/04 | 分类号： | G01N19/04;G01N19/02 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 王颖 |
| 地址： | 201418 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种检测物理气相沉积涂层结合力的划痕装置，包括：用于水平支撑的横向支撑模块(1)；用于带动涂层试样移动的横向运动模块(2)；用于竖直支撑的纵向支撑模块(3)；用于涂层试样结合力检测的纵向运动模块(4)；所述的横向运动模块(2)包括用于固定涂层试样的水平工作台(21)和压板(22)，水平工作台(21)滑动设置在横向支撑模块(1)上；所述的纵向运动模块(4)包括用于刻划的金刚石划头(41)和用于检测金刚石划头(41)压力的压力传感器(42)，金刚石划头(41)滑动设置在纵向支撑模块(3)上。与现有技术相比，本发明能够实现物理气相沉积涂层与基体间的结合力的定量的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 物理 沉积 涂层 结合 划痕 装置 | ||
【主权项】：
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