[发明专利]基于光敏探测阵列的小孔衍射光斑中心轴定位装置及方法在审
| 申请号： | 202210826492.4 | 申请日： | 2022-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN115200474A | 公开（公告）日： | 2022-10-18 |
| 发明（设计）人： | 高芬;张通;张金鹏;吴汪瑞 | 申请（专利权）人： | 西安工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京睿智保诚专利代理事务所(普通合伙) 11732 | 代理人： | 杜娟 |
| 地址： | 710032*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于光敏探测阵列的小孔衍射光斑中心轴定位装置及方法，涉及光学检测领域。本发明装置包括沿光的传输路径分立设置的激光器，扩束准直系统，会聚透镜，小孔衍射板，光敏探测阵列，点状激光器；其中，激光器出射的光束经过扩束准直系统的扩束后，变为第一光束；第一光束通过会聚透镜入射至小孔衍射板的衍射小孔后发生衍射，产生衍射光斑；光敏探测阵列用来探测衍射光斑；点状激光器位于光敏探测阵列的正后方，且垂直指向衍射小孔，用于小孔理想光轴和光敏探测阵列中心轴的重合调整，并指示衍射光轴的中心轴。本发明解决了小孔点衍射干涉测量中的光斑中心轴定位问题及对准问题，实现了小孔衍射光斑中心轴的精确定位。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 光敏 探测 阵列 小孔 衍射 光斑 心轴 定位 装置 方法 | ||
【主权项】：
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