[发明专利]高温超导哈氏合金基带表面离子束抛光方法及装置在审
| 申请号： | 202210815810.7 | 申请日： | 2022-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN115157016A | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 付海英;李鹏远;耿少飞;罗蓉蓉;胡新波;赖小强;左佳欣;韩石磊 | 申请（专利权）人： | 核工业西南物理研究院 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 胡晓丽 |
| 地址： | 610000 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了高温超导哈氏合金基带表面离子束抛光方法及装置，由离子源发出的离子束经由矩形形状的引出栅后，形成具有相应矩形截面的离子束，以空间扫描式离子束对哈氏合金基带表面进行抛光处理；相对于哈氏合金基带的走带方向，离子束抛光方向与法线呈正向及负向角度；通过引出栅出来的离子束完全覆盖哈氏合金基带的宽度方向，并在长度方向具有米级的覆盖能力。本发明采用Ar离子束抛光，减少环境污染，降低抛光成本，提高抛光效果，有利于对哈氏合金基带表面进行活化，有助于在基带表面进行后续缓冲隔离层及超导层的沉积。 | ||
| 搜索关键词： | 高温 超导 合金 基带 表面 离子束 抛光 方法 装置 | ||
【主权项】：
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