[发明专利]一种用于半导体器件的处理设备报警系统及方法在审
| 申请号： | 202210810466.2 | 申请日： | 2022-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN114882683A | 公开（公告）日： | 2022-08-09 |
| 发明（设计）人： | 文霞 | 申请（专利权）人： | 深圳市鼎合丰科技有限公司 |
| 主分类号： | G08B21/18 | 分类号： | G08B21/18;G06K9/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 深圳锴权知识产权代理事务所(普通合伙) 44825 | 代理人： | 张巍 |
| 地址： | 518115 广东省深圳市龙岗区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种用于半导体器件的处理设备报警系统及方法，涉及报警技术领域，解决的技术问题是设备报警问题，通过构建半导体器件的处理设备报警系统，能够提高半导体器件的处理设备工作过程中的运行状态诊断能力，通过设备数据检测模块能够检测半导体器件的处理设备运行状态，并将检测到的数据信息预处理，通过特征提取模块能够提取半导体器件的处理设备运行状态数据信息特征；通过异常数据判断模块，读取半导体器件的处理设备运行状态故障数据信息特征，对故障特征信息进行诊断；本发明大大提高半导体器件的处理设备运行过程中故障数据信息诊断能力和报警能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 半导体器件 处理 设备 报警 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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