[发明专利]基板切断装置和基板切断方法在审
申请号: | 202210803266.4 | 申请日: | 2022-07-07 |
公开(公告)号: | CN116282879A | 公开(公告)日: | 2023-06-23 |
发明(设计)人: | 西田和纪;田端淳;市川克则;中田胜喜 | 申请(专利权)人: | 三星钻石工业股份有限公司 |
主分类号: | C03B33/09 | 分类号: | C03B33/09;C03B33/033 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 向勇;宋晓宝 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种基板切断装置,在分断端面上不会产生缺口,采用利用了热应力的切断,并以不喷射热介质的方式对划线高效地施加热应力来进行切断。具备用于载置加工有划线(S)的基板(W)的基板支承件(1)和与基板(W)的划线(S)接触的切断杆(4),切断杆(4)与基板(W)的接触面中,设定为第一温度(T1)的多个温热区域(H)和设定为比第一温度低的第二温度(T2)的多个冷热区域(L)以交替相邻的方式排列配置,将温热区域(H)和冷热区域(L)沿划线(S)同时进行面接触而施加热应力来进行切断。 | ||
搜索关键词: | 切断 装置 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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