[发明专利]跨临界二氧化碳热泵换热管电泳膜溅射装置及使用方法在审
| 申请号： | 202210798625.1 | 申请日： | 2022-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN115198237A | 公开（公告）日： | 2022-10-18 |
| 发明（设计）人： | 王栋;陶银双;蒋天成;李梦雪 | 申请（专利权）人： | 安徽工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京久维律师事务所 11582 | 代理人： | 邢江峰 |
| 地址： | 243000 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了跨临界二氧化碳热泵换热管电泳膜溅射装置及使用方法，属于溅射镀膜技术领域。跨临界二氧化碳热泵换热管电泳膜溅射装置，包括镀膜箱、箱门，所述箱门转动连接在镀膜箱上，还包括：储气箱，固定连接在所述镀膜箱内；真空泵，固定连接在所述储气箱上，且出气口延伸进所述储气箱内；本发明通过储气箱、第一气管、第二气管、第一传动组件、传动轴、滚轮、传动皮带、传动轮的配合使用，在对换热管进行溅射镀膜时，可以使换热管进行转动，从而便可使溅射机构对换热管进行均匀的镀膜，无需再停机对换热管进行换面，不仅可以提高效率，还可以提高对换热管镀膜的均匀性，有效的提高了镀膜质量，适于推广使用。 | ||
| 搜索关键词： | 临界 二氧化碳 热泵换 热管 电泳 溅射 装置 使用方法 | ||
【主权项】：
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