[发明专利]跨临界二氧化碳热泵换热管电泳膜溅射装置及使用方法

权利要求书

1.跨临界二氧化碳热泵换热管电泳膜溅射装置，包括镀膜箱(1)、箱门(2)，所述箱门(2)转动连接在镀膜箱(1)上，其特征在于，还包括：

储气箱(6)，固定连接在所述镀膜箱(1)内；

真空泵(7)，固定连接在所述储气箱(6)上，且出气口延伸进所述储气箱(6)内；

内部设有空腔的底座(13)，固定连接在所述镀膜箱(1)内，且位于所述镀膜箱(1)的正下方，

其中，所述底座(13)的上端等间距固定连接有多个凸起(18)，所述凸起(18)内设有通槽；

滚轮(19)，等间距转动连接在所述通槽内，且表面套接有传动皮带(21)；

传动轮(22)，等间距转动连接在所述通槽靠近滚轮(19)的上方，且与所述传动皮带(21)相贴；

传动轴(20)，横向转动连接在所述凸起(18)上，

其中，与所述传动轴(20)中心在一条直线上的滚轮(19)均与传动轴(20)固定连接；

第一气管(14)，两端分别与所述储气箱(6)的出气口、底座(13)空腔的进气口相连通；

第二气管(16)，连接在所述第一气管(14)的出气口处；

用于驱动所述传动轴(20)转动的第一传动组件，设置在所述底座(13)靠近第二气管(16)出气口的位置；

溅射机构(5)，设置在所述镀膜箱(1)内靠近底座(13)的正上方。

2.根据权利要求1所述的跨临界二氧化碳热泵换热管电泳膜溅射装置，其特征在于，所述第一传动组件包括第一转轴(25)、第一转动板(26)、第一传动杆，所述第一转轴(25)通过第一支板转动连接在空腔内，所述第一转动板(26)均匀固定连接在第一转轴(25)上，且设置在靠近所述第二气管(16)出气口的位置，所述第一传动杆转动连接在底座(13)的上端，所述第一转轴(25)上固定连接有第一锥齿轮，所述第一传动杆的下端固定连接有与第一锥齿轮相啮合的第二锥齿轮，所述第一传动杆的上端固定连接有第三锥齿轮，所述传动轴(20)上固定连接有与第三锥齿轮相啮合的第四锥齿轮。

3.根据权利要求1所述的跨临界二氧化碳热泵换热管电泳膜溅射装置，其特征在于，所述真空泵(7)的抽气口处固定连接有第一三通管(8)，所述第一三通管(8)的两个抽气口内均设有第一电磁阀，其中一个所述第一三通管(8)的抽气口通过第三气管(10)与底座(13)的空腔相连通，所述镀膜箱(1)内部靠近储气箱(6)的上端固定连接有制冷箱(32)，所述制冷箱(32)内安装有制冷器(33)，所述真空泵(7)的出气口处固定连接有第二三通管(9)，所述第二三通管(9)的两个出气口分别通过第四气管(11)、第五气管(12)与储气箱(6)、制冷箱(32)相连通，所述第二三通管(9)的两个出气口内均设有第二电磁阀，所述镀膜箱(1)内设有矩形喷气管(34)，所述矩形喷气管(34)设置在底座(13)的上方，所述矩形喷气管(34)的内壁上倾斜向下等间距固定连接有多个喷气头，所述矩形喷气管(34)的进气口与制冷箱(32)的进气口通过连接管连接，所述连接管内设有第三电磁阀。

4.根据权利要求3所述的跨临界二氧化碳热泵换热管电泳膜溅射装置，其特征在于，所述镀膜箱(1)内靠近溅射机构(5)的两侧设有拉力器(37)，所述拉力器(37)的两端分别与镀膜箱(1)、溅射机构(5)固定连接，所述溅射机构(5)的正上方固定连接有气囊(36)，所述气囊(36)的上端与镀膜箱(1)固定连接，所述气囊(36)与制冷箱(32)之间通过导气管(35)连接，所述导气管(35)内设有第四电磁阀，所述镀膜箱(1)靠近溅射机构(5)的上方固定连接有测距仪(38)。