[发明专利]一种钽溅射靶材端面密封槽的加工方法有效
| 申请号： | 202210798328.7 | 申请日： | 2022-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN114986106B | 公开（公告）日： | 2023-09-08 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;徐礼升;王学泽;陈玉蓉 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23P15/00 | 分类号： | B23P15/00 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 徐浩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种钽溅射靶材端面密封槽的加工方法，所述加工方法包括如下步骤：(1)采用切槽刀进行第一切削后退刀，所述第一切削的深度为密封槽要求深度的1/3～1/2；(2)所述切槽刀移动至密封槽要求宽度处进行第二切削后退刀，所述第二切削的深度为密封槽要求深度；(3)所述切槽刀移动至第一切削的位置后进行第三切削，所述第三切削与第一切削的总深度为密封槽要求深度。本发明所述的加工方法采用三次切削的加工步骤，无需人为干预清理残屑，大大提高加工效率，而且加工得到的密封槽尺寸合格，槽内所有面的表面粗糙度Ra0.4μm以下，减少了后道工序抛光时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 端面 密封 加工 方法 | ||
【主权项】：
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