[发明专利]一种晶圆激光low-k设备旋转涂胶真空载台在审
| 申请号： | 202210783912.5 | 申请日： | 2022-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN115106262A | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;鲍占林 | 申请（专利权）人： | 河南通用智能装备有限公司 |
| 主分类号： | B05C13/02 | 分类号： | B05C13/02;B05C11/08 |
| 代理公司： | 郑州银河专利代理有限公司 41158 | 代理人： | 安申涛 |
| 地址： | 450000 河南省郑州市高新技术产业*** | 国省代码： | 河南;41 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及晶圆加工设备技术领域，具体涉及一种晶圆激光low‑k设备旋转涂胶真空载台，包括固定架，固定架沿竖直方向设置，工作台安装在固定架上方，且工作台可水平方向做圆周运动，工作台底部固定安装有固定输气轴套，驱动机构设于固定架底部，驱动机构的输出端通过真空转接装置与固定输气轴套传动连接；本发明响应迅速，高扭矩、轴间的连接选用高扭矩涨紧套，密封优良，真空对接位置采用专用的密封方式；结构稳固、转台框架行程闭合的机构减小高扭矩作用下的变形；高吸附强度、真空载台均匀的真空吸孔使晶圆每个位置受力均匀，真空载台周围铅锤在高速旋转过程中产生大的下压力，卡爪可对晶圆钢环限位，防止甩飞。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 low 设备 旋转 涂胶 空载 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于河南通用智能装备有限公司，未经河南通用智能装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210783912.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种管幕的约束措施及其施工流程
- 下一篇：一种路桥设计的墩柱结构
