[发明专利]一种蓝宝石衬底片切割后的分类加工方法及外延片在审
| 申请号： | 202210778252.1 | 申请日： | 2022-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN115194639A | 公开（公告）日： | 2022-10-18 |
| 发明（设计）人： | 崔思远;赵元亚;宋海涛;金从龙 | 申请（专利权）人： | 江西兆驰半导体有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/08 | 分类号： | B24B37/08;B24B29/02;B24B49/00;C30B33/02;B07C5/04 |
| 代理公司： | 南昌旭瑞知识产权代理事务所(普通合伙) 36150 | 代理人： | 刘红伟 |
| 地址： | 330000 江西省南昌市南*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明提供一种蓝宝石衬底片切割后的分类加工方法及外延片，通过晶棒进行区域划分，将区域内得到的待处理衬底片根据翘曲值和弯曲值进行分档，以便于批量处理，并对不同的档位对应的一次退火工艺和双面研磨物理修复工艺进行调用，以在进行一次退火处理、双面研磨物理修复处理以及二次退火处理后，制备得到改善的第二衬底片，再根据第二预设档位，匹配对应的第二子档位，确定抛光参数，在第二衬底片进行单面抛光处理后，得到第三衬底片，通过对待处理衬底片因地制宜的工艺处理，大幅度的减少了衬底片的损失。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 衬底 切割 分类 加工 方法 外延 | ||
【主权项】：
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