[发明专利]一种真空衰减泄漏检测装置

摘要

本发明公开了一种真空衰减泄漏检测装置，包括抽气组件、用于放置待检测容器的第一密封腔室、以及用于连接抽气组件与第一密封腔室的检测组件，还包括第二密封腔室，所述检测组件设于所述第二密封腔室内，所述抽气组件与所述第二密封腔室连接。本发明的真空衰减泄漏检测装置，将检测组件设于第二密封腔室内，第二密封腔室与抽气组件连接，对第一密封腔室抽气的同时，也可以对第二密封腔室进行抽气，使得检测组件内外压差极小，从而大幅度减少检测组件的泄漏量，保证检测精度；相较于采用高精度、小泄漏量的阀件、传感器等，本发明更有利于保证检测精度，且结构更简单，增加的成本完全可以承受。