[发明专利]基板载具和电化学沉积设备在审
| 申请号： | 202210762284.2 | 申请日： | 2022-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN115012022A | 公开（公告）日： | 2022-09-06 |
| 发明（设计）人： | 王大军;袁广才;姚琪;闫俊伟;曹占锋;黎午升;吴慧利 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C25D17/06 | 分类号： | C25D17/06;C25D17/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 魏艳新;姜春咸 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开实施例提供一种基板载具，包括：第一承载板，所述第一承载板上设置有多个第一容纳部；第二承载板，与所述第一承载板相对设置并连接，所述第二承载板上对应于所述第一容纳部的位置设置有第一通孔，所述第二承载板远离所述第一承载板的表面为承载面，用于承托待成膜的基板；多个伸缩结构，所述伸缩结构包括：驱动结构以及与所述驱动结构连接的顶针，所述驱动结构设置在所述第一容纳部中，并配置为驱动所述顶针沿所述第一通孔的轴向升降，以将所述基板顶起或使得所述顶针与所述基板无接触。本公开实施例还提供一种电化学沉积设备。 | ||
| 搜索关键词： | 基板载具 电化学 沉积 设备 | ||
【主权项】：
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