[发明专利]晶圆清洁装置在审
| 申请号： | 202210755712.9 | 申请日： | 2022-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN115228836A | 公开（公告）日： | 2022-10-25 |
| 发明（设计）人： | 孙宏;郑建辉;丁杰 | 申请（专利权）人： | 上海图灵智算量子科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B3/08;B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201203 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆清洁装置，包括：箱体、超声清洗部、清洗槽及兆声清洗部，超声清洗部用于盛装清洗药液，晶圆浸入清洗药液；超声清洗部还用于生成超声波以清洁晶圆，清洗槽用于冲洗或干燥晶圆。清洗槽设于超声清洗部与兆声清洗部之间，兆声清洗部用于盛装清洗药液；兆声清洗部还用于生成兆声波以清洁晶圆。晶圆可以先置于超声清洗部，利用清洗药液浸润，以实现化学清洗；利用超声波有效去除颗粒较大的污染物，随后利用兆声清洗部对晶圆进一步清洗，清洗药液可以再次对晶圆进行化学清洗，兆声波可以进一步有效去除颗粒较小的污染物，最后利用清洗槽对晶圆冲洗干净，从而充分、可靠地对晶圆完成清洁，避免污染物残留在晶圆上。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海图灵智算量子科技有限公司，未经上海图灵智算量子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210755712.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
