[发明专利]一种检测设备及方法在审
| 申请号： | 202210752031.7 | 申请日： | 2018-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN115165758A | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 黄有为;陈鲁;崔高增;王天民 | 申请（专利权）人： | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/21 | 分类号： | G01N21/21;G01N21/01;G01N21/17;G01N21/86;G01N21/95;G01N21/952 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 房德权 |
| 地址： | 518110 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种检测设备及方法，该检测设备通过第一探测装置待测元件表面反射的第一回波光和第二回波光发生干涉后形成的信号光，得到待测元件上采样位置对应的信号光的第一光强分布信息，以进一步根据该强度分布得到信号光的相位分布，从而得到待测元件的缺陷分布数据。其中，第一探测装置包括两个以上偏振探测器，或者无偏振探测器和至少一个偏振探测器。本发明能够有效地实现信号光的偏振态分析，实现待测元件在纵向上的高精度检测，且可靠性好，稳定性高，检测速度快。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 设备 方法 | ||
【主权项】：
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