[发明专利]稳态刚玉结构钛铝铬铌氧化物涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 202210743119.2 | 申请日： | 2022-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN115058697B | 公开（公告）日： | 2023-10-13 |
| 发明（设计）人： | 陈云;杜昊;周彤;李超杰;谢明强;胡恒宁;李波 | 申请（专利权）人： | 成都工具研究所有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/02;C23C14/08;C23C14/34 |
| 代理公司： | 重庆强大凯创专利代理事务所(普通合伙) 50217 | 代理人： | 冉剑侠 |
| 地址： | 610000 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及刀具涂层领域，公开了稳态刚玉结构钛铝铬铌氧化物涂层的制备方法，包括以下步骤刀具基体前处理；等离子体清洗刀具基体；用同步高功率脉冲磁控溅射方式在刀具基体上沉积钛铝铬铌氧化物涂层。以及用上述方法制得的一种低温下获得的稳态刚玉结构钛铝铬铌氧化物涂层，包括刚玉结构三氧化钛铝铬铌和非晶态三氧化钛铝铬铌。本发明钛铝铬铌氧化物涂层组织由刚玉结构三氧化钛铝铬铌和非晶态三氧化钛铝铬铌组成，与面心立方结构氧化物相比，该组织结构具有极高的热稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 稳态 刚玉 结构 钛铝铬铌 氧化物 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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