[发明专利]稳态刚玉结构钛铝铬铌氧化物涂层及其制备方法

权利要求书

1.稳态刚玉结构钛铝铬铌氧化物涂层，其特征在于：包括刚玉结构三氧化钛铝铬铌和非晶态三氧化钛铝铬铌。

2.根据权利要求1所述的稳态刚玉结构钛铝铬铌氧化物涂层，其特征在于：涂层中钛、铝、铬、铌的原子比例关系为Ti:Al:Cr:Nb＝0.7～1.2:0.7～1.2:0.7～1.2:0.7～1.2。

3.根据权利要求2所述的稳态刚玉结构钛铝铬铌氧化物涂层，其特征在于：涂层中钛、铝、铬、铌、氧的原子比例关系为(Ti+Al+Cr+Nb):O＝2:3～3.5。

4.根据权利要求3所述的稳态刚玉结构钛铝铬铌氧化物涂层，其特征在于：涂层中钛、铝、铬、铌、氧的原子比例关系为Ti:Al:Cr:Nb:O＝1:1:1:1:7.5。

5.一种用于制备权利要求1-4任一所述的稳态刚玉结构钛铝铬铌氧化物涂层的制备方法，其特征在于：包括以下步骤

A、刀具基体前处理，进行除油、喷砂、脱水处理，然后经干燥后立即装炉，在真空环境下加热，加热温度为400-600℃，加热时间为60-90min；

B、等离子体清洗刀具基体，利用等离子区离化的氩离子对刀具基体进行刻蚀清洗，清洗时间15-30min；

C、用同步高功率脉冲磁控溅射方式在刀具基体上沉积钛铝铬铌氧化物涂层，沉积钛铝铬铌氧化物涂层的时间为120～240min。

6.根据权利要求5所述的稳态刚玉结构钛铝铬铌氧化物涂层制备方法，其特征在于：所述步骤B中调节氩气流量，控制室内压强为1～3×10^-1Pa。

7.根据权利要求6所述的稳态刚玉结构钛铝铬铌氧化物涂层制备方法，其特征在于：所述步骤B中对刀具基体施加脉冲偏压-300～-500V。

8.根据权利要求5所述的稳态刚玉结构钛铝铬铌氧化物涂层制备方法，其特征在于：所述步骤C中向沉积室同时通入O₂、Ar，O₂/Ar流量比为1:13～2:13，保持室内压强为3～5×10^-1Pa。

9.根据权利要求8所述的稳态刚玉结构钛铝铬铌氧化物涂层制备方法，其特征在于：保持钛铝铬铌合金靶峰值电流密度为1.0～2.0A/cm²，脉冲频率为500Hz～2000Hz，脉冲宽度为20～50μs。

10.根据权利要求8所述的稳态刚玉结构钛铝铬铌氧化物涂层制备方法，其特征在于：刀具基体同步脉冲偏压-200～-500V，脉冲频率与靶材溅射脉冲频率保持一致，脉冲宽度10～30μs，延迟时间0～60μs。