[发明专利]清洁装置有效
| 申请号： | 202210738543.8 | 申请日： | 2022-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN114798569B | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 龚庆;姜涛;陈贤刚;裴文龙 | 申请（专利权）人： | 江苏启威星装备科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/04 | 分类号： | B08B3/04;B08B3/02;B08B3/08;F26B21/00 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 刘宁 |
| 地址： | 226300 江苏省南通市通州区金*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种清洁装置，包括：机体，包括沿第一方向依次设置且相互连通的上料位、清洁位及出料位，上料位用于水平放置硅片，清洁位用于清洁硅片，出料位与扩散炉的进料口对接且用于输出硅片；传动模块，包括传动轴及多组传动单元，传动轴沿第一方向贯穿且可转动地安装于机体，多组传动单元沿第一方向设置于传动轴；输送模块，包括从上料位排布至出料位且同向转动的多组输送单元，输送单元包括沿竖直方向间隔设置于上料位两侧的两个第一输送轴，两个第一输送轴分别可转动地安装于机体，且与传动单元传动连接。两个第一输送轴夹持着硅片可靠且稳定地运动，减少对硅片的损伤，出料位与扩散炉的进料口对接，省去上下料工序，降低了占地空间及成本。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁 装置 | ||
【主权项】：
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