[发明专利]清洁装置

说明书

本发明涉及一种清洁装置，包括：机体，包括沿第一方向依次设置且相互连通的上料位、清洁位及出料位，上料位用于水平放置硅片，清洁位用于清洁硅片，出料位与扩散炉的进料口对接且用于输出硅片；传动模块，包括传动轴及多组传动单元，传动轴沿第一方向贯穿且可转动地安装于机体，多组传动单元沿第一方向设置于传动轴；输送模块，包括从上料位排布至出料位且同向转动的多组输送单元，输送单元包括沿竖直方向间隔设置于上料位两侧的两个第一输送轴，两个第一输送轴分别可转动地安装于机体，且与传动单元传动连接。两个第一输送轴夹持着硅片可靠且稳定地运动，减少对硅片的损伤，出料位与扩散炉的进料口对接，省去上下料工序，降低了占地空间及成本。

技术领域

本发明涉及太阳能电池制造技术领域，特别是涉及一种清洁装置。

背景技术

近年来随着科学技术的发展以及人民环保意识的提高，光能、风能、地热能等绿色能源成为了研究的热点，而其中光伏发电技术现已逐渐步入成熟，太阳能光伏产品应用范围扩展到各个领域。

太阳能电池作为太阳能光伏产品的核心部件，目前主要有晶硅体电池和薄膜电池这两种结构形式，而作为行业公认的未来电池技术终极形式的HDT（晶体硅异质结太阳电池）综合了晶体硅电池与薄膜电池的优势，200℃以下的工艺环境时在晶体硅片上沉积一层非掺杂（本征）氢化非晶硅薄膜和一层与晶体硅掺杂种类相反的掺杂氢化非晶硅薄膜，改善了PN结的性能，具有结构简单、工艺温度低、钝化效果好、开路电压高、温度特性好、双面发电等优点，是高转换效率硅基太阳电池的热点方向之一。而HDT的关键制备工序是能够降低硅片表面的杂质浓度、提升电池转换效率的吸杂工艺，常规吸杂工艺是硅片先后经过槽式清洗机和扩散炉，槽式清洗机中硅片垂直插置在花篮中，扩散炉中硅片水平放置，故需要槽式清洗机的上料设备将硅片插片进花篮，清洗结束后，需要扩散炉的上料设备将硅片从花篮倒进扩散炉内。但是槽式清洗机和扩散炉的上料均比较繁琐，使得整个吸杂工艺流程复杂、产能较低，并且容易对硅片造成损伤，对设备场地尺寸有较高要求。

发明内容

基于此，有必要针对吸杂工艺流程复杂、产能较低及易损伤硅片的问题，提供一种清洁装置。

本发明提供了一种清洁装置，包括：

机体，包括沿第一方向依次设置且相互连通的上料位、清洁位及出料位；

传动模块，包括传动轴及多组传动单元，所述传动轴沿所述第一方向贯穿且可转动地安装于所述机体，多组所述传动单元沿所述第一方向设置于所述传动轴；

输送模块，包括从所述上料位排布至所述出料位且同向转动的多组输送单元，所述输送单元包括沿竖直方向间隔设置的两个第一输送轴，两个所述第一输送轴分别可转动地安装于所述机体，且与所述传动单元传动连接。

在上述清洁装置中，硅片水平放置在上料位上，传动轴以第一方向为旋转轴进行转动，带动多个传动单元随之转动，传动单元带动两个第一输送轴同步转动，夹持着硅片从上料位向着出料位输送，并在清洁位被清洁，经过出料位输送至扩散炉的进料口。由于在整个清洗过程中两个第一输送轴夹持着硅片沿第一方向可靠且稳定地运动，便于清洗的进行及提高清洗的可靠性，减少对硅片的损伤，硅片始终处于水平位置，并且出料位与扩散炉的进料口对接，相比现有清洗方式省去了上下料工序，上料-清洁-出料依次进行，优化了工序之间的步骤，而且通过传动模块和输送模块配合实现硅片在整个过程的移动，减少了清洁装置维护工作量，降低了占地空间以及生产运营的成本。

在其中一个实施例中，所述传动单元包括：

第一锥齿轮，安装于所述传动轴上；

第二锥齿轮，安装于所述输送单元的一所述第一输送轴上，且与所述第一锥齿轮相啮合；

相啮合的两个第三齿轮，分别安装于所述输送单元的两个所述第一输送轴上。

在其中一个实施例中，所述传动轴包括：